Evolution

 

湿法处理系统“Evolution”是全自动化线性半导体湿法工作台。模块化结构非常灵活,可根据工艺序列轻松配置。

 

Evolution 的主要特点在于,实现高产量的同时保持低运行成本。全自动设计具有多个同步批次批量处理的干进与干出处理。
“Evolution”控制的优势在于 IDX Flexware 软件,成为业界先进的湿法处理系统之一。
独特的先进特征与能力,包括通过 RENA“计划表”、FlexView(可选)进行批次排程。
在专用工艺槽进行多步骤处理(例如超声波和兆声波槽、级联或快排冲洗槽)、化学品计量和监控(可选)、专为产品打造的多重 RENA 干燥解决方案,例如 Genesis Marangoni 干燥。坚固又可靠的传送机器人。
所有 RENA 系统皆可用,符合工厂设备的 SECS/GEM 界面。Evolution 为特定工艺需求量身打造。

特点与优势

  • 全自动,干对干运行
  • 100 mm 至 300mm 晶圆尺寸
  • 25、50 和 100 个晶圆批次
  • IDX Flexware 控制软件
    • 同步批次与配方
    • 高级工艺监控
  • 集成式 HMI 触控屏
  • SECS/GEM 界面选项
  • 内置式 1 级净室
  • 不锈钢款适合溶剂应用
  • 灵活可升级
  • 依据客户规范量身打造
  • 提升运行时间与处理量
  • 延长化学品与槽体寿命
  • 减少化学品与去离子水使用
  • 降低设备成本
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