蒸汽干燥机

 

RENA 蒸汽干燥机集成 IPA 干燥工艺、清洁与冲洗,实现一站式工艺。它代替高深宽比特征与 TSV 中的水,有效干燥及复杂的表面,而且可集成至 RENA 溶剂浸洗平台。整个工艺由 RENA 专属 IDX 工艺控制软件监控与控制。

 

特点与优势

  • FEOL 与 BEOL 晶圆干燥
  • 干燥疏水与亲水表面,无静摩擦损伤
  • 离子污染级别 < 1E10
  • 0.12μm 级的颗粒量 < 20
  • 相比沸腾池蒸汽干燥机,IPA 消耗量减少 85%
  • 与 Marangoni 干燥机相比,成本降低
  • 完全干燥的“高深宽比”结构且 TSV > 750um 深
  • IPA 蒸汽冷凝器,用于 IPA 回收
  • 借助 IDX Flexware 实现高级性能与工艺控制
  • CE 认证
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