Stainless steel Vapor-Dryer with an iconic contamination level

VaporDry - IPA-Trockner für Halbleiteranwendungen

Der RENA VaporDryer integriert den IPA-Trocknungsprozess mit Reinigung und Spülung zu einem einstufigen Verfahren. Er ist eine ideale Lösung für die Verdrängung von Wasser aus Strukturen mit hohem Aspektverhältnis und Through Silicon Vias (TSVs) sowie für die effektive Trocknung komplexer Oberflächen. VaporDry kann in RENA-Batch-Immersionsplattformen integriert werden. Dieser Trockner kann sowohl für FEoL- als auch für BEoL-Anwendungen eingesetzt werden. Der gesamte Prozess wird durch die fortschrittliche IDX Flexware Prozesssteuerungssoftware von RENA überwacht und gesteuert.

Funktionen und Vorteile

  • Niedrigere Kosten im Vergleich zu Marangoni-Trocknern
  • 85 % weniger IPA-Verbrauch im Vergleich zu Dampftrocknern mit kochendem Sumpf
  • Robuste, zuverlässige und praxiserprobte Leistung
  • Hervorragende Partikelleistung (< 20 bei 0,12 µm)
  • Konstruktion komplett aus elektropoliertem Edelstahl
  • Ideal für die Trocknung mehrerer Wafergrößen
  • Vollständige Trocknung von Strukturen mit hohem Aspektverhältnis" und TSVs mit einer Tiefe von > 750 µm
  • Kleine Stellfläche
Theo-Moissidis-Head-of-Sales
VP Sales
Theo Moissidis
ZuständigZuständig für folgende Länder:
Weltweit