InPolySide 3+ 为 TOPCon 应用提供出色的背面和边缘蚀刻。去除了 LPCVD 和 PECVD 的多晶硅缠绕。具备高通量和十分灵活的晶圆尺寸，是下一代太阳能电池的理想工具。InPolySide 设计为节省空间的单机床解决方案，涵盖预氧化物蚀刻、多晶硅蚀刻、清洁或玻璃蚀刻和冲洗这些步骤。无需额外的晶圆处理。