Evolution

 

Das Nassbearbeitungssystem „Evolution“ ist eine vollautomatische lineare Halbleiternassbank. Der modulare Aufbau ist sehr flexibel und lässt sich leicht entsprechend Ihrer Prozessabläufe konfigurieren.

 

Das Hauptmerkmal von „Evolution“ ist die hohe Ausbringung bei gleichzeitig niedrigen Betriebskosten. Das vollautomatische Design bietet eine Dry-In- und Dry-Out-Bearbeitung mit mehreren, gleichzeitig ablaufender Bearbeitung von Los-Batches.
Der Vorteil der „Evolution“-Steuerung ist die IDX-Flexware-Software. Sie ist eines der fortschrittlichsten Nassverarbeitungssysteme der Branche.
Einzigartige, moderne Funktionen und Merkmale, einschließlich der Losplanung mittels des RENA-„Scheduler“, FlexView (optional).
Mehrschrittbearbeitung in speziellen Tanks, wie Ultraschall- und Megaschalltanks, Kaskaden oder Quick-Dump-Spültanks, Chemikaliendosierung und -überwachung (optional), verschiedene RENA-Trockenlösungen, die auf Ihr Produkt abgestimmt sind, wie z. B. Genesis-Marangoni-Trocknung. Ein robuster und zuverlässiger Transferroboter.
Alle RENA-Systeme sind verfügbar und konform zur SECS-/GEM-Schnittstelle des Betriebsstättenhosts. „Evolution“ wird auf Ihre spezifischen Prozessanforderungen angepasst.

Funktionen und Vorteile

  • Voll automatisch, Trocken-zu-Trocken-Betrieb
  • Wafergrößen von 100 bis 300 mm
  • 25, 50 und 100 Waferlose
  • IDX Flexware Control Software
    • Gleichzeitige Lose und Rezepturen
    • Fortschrittliches Prozessmonitoring
  • Intuitiver HMI-Touchscreen
  • SECS-/GEM-Schnittstellenoptionen
  • Integrierte Klasse 1 Reinraum
  • Edelstahlversion für Lösungsmittelanwendungen
  • Flexibel und upgradefähig
  • An Kundenspezifikation angepasst
  • Erhöhte Betriebszeit und erhöhter Durchsatz
  • Verlängerte Chemikalien- und Tanklebensdauer
  • Reduzierter Einsatz von Chemikalien und DI-Wasser
  • Niedrigere Anlagenkosten
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