玻璃晶片加工

玻璃制成的晶片是现代微系统技术的基础。玻璃作为材料有诸多优点,例如耐化学性和耐热性高、电绝缘性好、生物相容性好、光跃迁范围大以及光吸收低等。由于这些特性,玻璃晶片被广泛应用于传统精密加工工艺。

 

RENA 工艺

精密加工工艺可在玻璃晶片中创建各种结构。为了在结 构化过程中获得高品质初始清洁过程至关重要。RENA 可以根据应客户需求、污染类型和程度、玻璃种类和相应后续应用提供多种批量清洁程序。

例如铬蚀刻等工艺步骤可以集成到用于结构化铬层的工艺序列中。RENA 还提供用于在制造过程中蚀刻常用金属例如金和镍的设备。根据客户需要RENA 工具还可包含用于玻璃蚀刻和抗蚀剂剥离的镀液。

可以根据整体需求和特定客户需求自由调整工艺数量。

  • 玻璃清洁
  • 玻璃蚀刻
  • 金属蚀刻/铬蚀刻
  • 抗蚀剂剥离

RENA 设备

对于许多复杂应用来说 RENA 设备是最理想的低成本、多步骤序列工艺的决方案。我们的革命性湿法处理系统是高度可配置的多步骤湿法工作台。可配置为半自动或全自动应用。我们的革命性湿法处理系统可在其中央旋转机器人周围提供多达 5 个的处理槽,并提供经过实践验证的干对干 Genesis 技术。与所有 RENA 设备一样平台空间占用量始终是优先考虑的问题,并尽量使其保持最小。

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革命性湿法工作台特点:
  • 多步骤序列
  • 酸和溶剂解决方案
  • 多达 5 个处理槽
  • 100-200mm 晶片
  • 占用空间小

凭借具有强大集成旋转机器人、可定制工艺罐配置和独特选件的革命性湿法处理系统,我们创建了功能强大的多功能工具系统,可为各种挑战提供可靠的解决方案。

 

如果您的挑战解决方案需要集成更多工艺步骤,或者您正在寻找实验室规模的解决方案,那就请探索我们的产品。

 

  Evolution   Advancer

应用

光学器件

 

利用精密加工工艺可在玻璃晶片上并行制造数千个微光学组件。诸如透镜、镜子、分束器和光栅之类的光学组件通常可用于光子学、半导体工业或医疗领域。折射和衍射微光学元件用于精确的光束成形。微光学元件在诸如内窥镜之类的医疗设备以及基于激光的设备和光纤通信网络中也发挥着重要作用。

微流体

 

许多微流体装置均通过精密加工工艺由玻璃制成的。微流体装置已经成为诊断用生物医学仪器的基本要素。玻璃在很宽的波长范围内均为透明,是微生物分析设备(例如微毛细管电泳)或者细胞捕获或分选设备的首选。具有复杂通道结构的微流体芯片应用于需要点测试 (PON) 设备和用于 DNA 单分子处理以进行下一代测序 (NGS) 的流通池。

传感器

 

随着越来越多的玻璃基片被用于制造 MEMS 器件,玻璃精密加工技术也变得越发重要。如今,它已被发展为成熟的解决方案,例如压力和加速度传感器。可通过蚀刻获取的带腔图纹晶片用于封装压力传感器管芯。封装使用晶片级封装 (WLP) 方法完成。

定制解决方案

批量湿法处理平台

先进的清洁解决方案

  • 用于在玻璃、医疗技术、制药和半导体行业中实现高性能和高要求环境
  • 水基和溶剂基
  • 洁净室、ATEX、GMP

回顾 20 多年来在各种基片的清洁应用方面的专业知识,RENA 为各个行业和高要求环境提供先进的玻璃清洁解决方案。

 

我们的批处理工具为玻璃、医疗技术、制药、先进光学和半导体行业提供高性能。它们符合洁净室、ATEX 和 GMP 的要求,设计用于基于水和有机溶剂的工艺。

 

负责负责对于以下国家:
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