这款 PCS 湿至干法抛光后清洁系统去除颗粒和污染物，打造完美的洁净晶圆表面。这款工具处理直径 300 mm 以下的晶圆。无论是全节距还是半节距、带载片还是无载片处理——这款机器皆可贴合您的需求，完美融入晶圆厂。