边缘隔离、抛光和去除玻璃的同类最佳解决方案
RENA InOxSide® 3 自动化处理设备设计为用于边缘隔离、背面抛光和去除硅太阳能电池掺杂玻璃的综合解决方案。使用该工艺实现最低运营成本和最佳成效，InOxSide 技术是制造 Al-BSF、PERC 和 PERT 硅太阳能电池的最佳之选。其基于 RENA NIAK 链式平台。
特点和优势
- 采用 5/6 道链式工艺的全自动湿法化学单面刻蚀
- 单面发射极刻蚀、背面抛光与去除掺杂玻璃 (PSG/BSG)
- 使用 HF/HNO3/H2SO4 进行单面刻蚀，实现同类最佳运营成本 (CoO)
- RENA 专利技术
- 可调型背面刻蚀：1 至 5 µm，使用 RENA PreCon 选项最高达 6 µm
- 集成冲洗与干燥晶圆
- 产能高达 6000 片/小时
- 可相容 M0、M1、M2、M4、M6 与 M12 硅片尺寸
- 借助 Bleed + Feed（分供）功能延长蚀槽寿命
- 精确的计量系统，实现稳定的槽液组成
- 使用无 O 型环辊设计
- 破损率业界最低
- 基于 RENA NIAK 链式处理平台
- 运行时间长
- 易于维护
选项
- MES 接口 (SECS/GEM)
- 用于化学品供应的介质柜
- 针对化学品排出/废水的废物泵出站
- 工艺控制传感器（例如 pH 值、电导率）
- RENA RaPID（RENA 抗 PID 解决方案）
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