The wet processing company

InOxSide+

边缘隔离、抛光和去除玻璃的同类最佳解决方案

RENA InOxSide+® 自动化处理设备设计为用于边缘隔离、背面抛光和去除硅太阳能电池掺杂玻璃的综合解决方案。使用该工艺实现最低运营成本和最佳成效,InOxSide 技术是制造 Al-BSF、PERC 和 PERT 硅太阳能电池的最佳之选。其基于 RENA NIAK 链式平台。

特点和优势

  • 采用 5 道链式工艺的全自动湿法化学单面刻蚀
  • 单面发射极刻蚀、背面抛光与去除掺杂玻璃 (PSG/BSG)
  • 使用 HF/HNO3/H2SO4 进行单面刻蚀,实现同类最佳运营成本 (CoO)
  • RENA 专利技术
  • 可调型背面刻蚀:1 至 4 µm,使用 RENA PreCon 选项最高达 6 µm
  • 集成冲洗与干燥晶圆
  • 产能高达 5000 片/小时
  • 可相容 M0、M1、M2 与 M4 硅片尺寸
  • 借助 Bleed + Feed(分供)功能延长蚀槽寿命
  • 精确的计量系统,实现稳定的槽液组成
  • 使用无 O 型环辊设计
  • 破损率业界最低
  • 基于 RENA NIAK 链式处理平台
  • 运行时间长
  • 易于维护

选项

  • MES 接口 (SECS/GEM)
  • 用于化学品供应的介质柜
  • 针对化学品排出/废水的废物泵出站
  • 工艺控制传感器(例如 pH 值、电导率)
  • RENA RaPID(RENA 抗 PID 解决方案)

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