Advancer Gemini: Doppelte Nassprozesskapazität für Labore

Eine kompakte, kosteneffiziente Nassbank für Halbleiter-R&D und Kleinserienproduktion – entwickelt für höheren Durchsatz, flexible Waferbearbeitung und effiziente Laborprozesse.

Labore und F&E-Teams in der Halbleiterindustrie stehen zunehmend unter Druck, ihre Prozesse zu skalieren und gleichzeitig Präzision, Flexibilität und Kosteneffizienz zu gewährleisten. Mit dem Advancer Gemini können Labore ihre Nassprozesskapazität verdoppeln, ohne zusätzlichen Platz zu benötigen.

Der Advancer Gemini ist eine Nassbank der nächsten Generation für Immersionsprozesse, die speziell für Halbleiter-Oberflächenbehandlungsanwendungen in Forschungslaboren und Pilotfertigungen entwickelt wurde. Das System ist für zweistufige Prozessabläufe ausgelegt und integriert Spülprozesse sowie optionales Trocknen in einen optimierten Workflow, wodurch die Waferbearbeitung schneller und effizienter wird.

Entwickelt für leistungsstarke Nassprozesse im Labor

Der Advancer Gemini bietet Best-in-Class-Performance für Single-Step-Nassprozesse in der Halbleiterfertigung. Das System verfügt über zwei integrierte Roboter, eine fortschrittliche Prozesssoftware sowie einen einheitlichen Workflow, der sowohl 6-Zoll- als auch 8-Zoll-Wafer unterstützt. Damit eignet sich die Anlage für eine Vielzahl von Anwendungen, darunter Oberflächenreinigung, chemische Behandlungen und Substratvorbereitung.

Dank intelligenter Automatisierung und optimierter Prozessabläufe erreichen Labore deutlich höhere Durchsätze, ohne Kompromisse bei Prozesskontrolle und Reproduzierbarkeit einzugehen.

Doppelter Durchsatz – gleicher Platzbedarf

Basierend auf der bewährten Architektur des Advancer Classic kombiniert der Advancer Gemini hohe Zuverlässigkeit mit gesteigerter Produktivität. Das System umfasst alle Funktionen der Classic-Plattform, liefert jedoch den doppelten Durchsatz pro Quadratmeter.

Damit können Forschungsteams ihre Prozesskapazität erhöhen, ohne zusätzliche Laborfläche zu benötigen oder die Investitionskosten erheblich zu steigern – eine attraktive Lösung für wachsende Halbleiter-F&E-Umgebungen.

Flexible Prozesskontrolle und Monitoring

Der Advancer Gemini ermöglicht es Anwendern, ihre Waferprozesse präzise anzupassen und zu optimieren. Die fortschrittliche Steuerungs- und Monitoring-Software erlaubt eine exakte Einstellung der Prozessparameter und sorgt so für optimale Ergebnisse bei unterschiedlichen Materialien und Anwendungen.

Die Dual-Robot-Konfiguration gewährleistet ein reibungsloses Waferhandling und einen effizienten Prozessfluss, wodurch Stillstandszeiten reduziert und die Anlagenverfügbarkeit maximiert werden.

Optimiert für effiziente Laborabläufe

Bei der Entwicklung des Advancer Gemini standen Effizienz und Wartungsfreundlichkeit im Fokus. Das System verfügt über eine wartungsfreundliche Konstruktion mit gemeinsam genutzten Versorgungseinheiten und Elektronik, was Servicearbeiten vereinfacht und Stillstandzeiten reduziert.

Weitere Effizienzvorteile:

• Reduzierter DI-Wasserverbrauch

• Optimierter Chemikalienverbrauch

• Geringere Entsorgungskosten

• Kompaktes Design für Labore mit begrenztem Platz

Diese Eigenschaften machen den Advancer Gemini zu einer kosteneffizienten Nassbanklösung für Halbleiterlabore und Pilotproduktionen.

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