BatchWaClean – perfekte Endreinigung für Solar Wafer

Der Herstellungsprozess von Wafern in der Photovoltaik-Industrie umfasst zahlreiche Schritte, die von der Sägetechnik bis hin zur Texturierung reichen. Jeder einzelne Schritt – von der präzisen Bearbeitung beim Sägen bis zu den komplexen chemischen Prozessen wie Reinigen, Ätzen und Texturieren – trägt entscheidend zur Effizienz und Qualität der späteren Solarzellen bei.

Das perfekte Zusammenspiel im Wafering-Prozess beginnt bereits mit der Vorreinigung durch die RENA PreWaClean. Diese Anlage löst im Vorreinigungsschritt unter anderem die Verklebung vom Trägerbalken. Nach dieser Reinigung erfolgt die Vereinzelung der Wafer, sowie der direkten Verbindung an die finale Endreinigung mittels der RENA BatchWaClean Anlage.

Die RENA BatchWaClean Anlage wird zur abschließenden Reinigung eingesetzt, um sicherzustellen, dass die Wafer die hohen Qualitätsanforderungen erfüllen und optimal auf die Texturierung im nächsten Produktionsschritt vorbereitet sind. In diesem Verfahren werden verbliebene Verunreinigungen im Rahmen eines Batch-Prozesses entfernt, ohne die Oberfläche des Wafers zu ätzen. Dieser finale Reinigungsschritt umfasst typischerweise eine Kombination aus alkalischem Reinigen, Entfernung organischer Verunreinigungen sowie ein vollständiger Trocknungsschritt. Diese Kombination sorgt dafür, dass keine Wasserflecken oder Partikel zurückbleiben, die während der nachfolgenden Zellbearbeitung zu Inhomogenitäten oder Effizienzverlusten führen könnten. Das Verfahren bietet nicht nur eine hohe Reinigungseffizienz, sondern auch einen beeindruckenden Durchsatz.

Mit der Durchführung dieser Prozessschritte sind die Solarwafer bereit für die Texturierung sowie die weiteren Verarbeitungsprozesse, die in der Produktion hocheffizienter Solarzellen notwendig sind.

Funktionen und Vorteile

  • Hohe Maschinenkapazität
  • Hohe Laufzeit
  • Bis zu G13-Wafergröße
  • Wet-in-Dry-out
  • O3 Reinigung
  • Abfall- und Wassereinsparung als Option
  • Ultraschallreinigung für optimierte Sauberkeit
  • Geringer Platzbedarf im Verhältnis zum Durchsatz

BatchWaClean

Michael Vees Sales Director Solar
Sales Director Solar
Michael Vees